德國(guó)Thyracont真空計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

德國(guó)Thyracont公司致力于研發(fā)和生產(chǎn)智能真空測(cè)量?jī)x表以及控制儀表

我們的產(chǎn)品組合包括真空傳感器、真空傳感器、真空計(jì)、真空開(kāi)關(guān)、控制器以及附件和真空組件。Thyracont真空計(jì)包括了薄膜規(guī)，電容規(guī)，電阻規(guī)，皮拉尼，熱陰極，冷陰極，以及復(fù)合真空規(guī)，滿足不同量程的需求。

圖拉特thyracont真空產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

晶圓鍵合是半導(dǎo)體技術(shù)中的一個(gè)程序步驟，將兩個(gè)晶圓連接在一起。對(duì)于某些應(yīng)用，如芯片傳感器的封裝，該過(guò)程是在真空下進(jìn)行的。

加載時(shí)，粘結(jié)室通過(guò)粗加工泵在旁路連接中抽真空，直到達(dá)到真空度，此時(shí)系統(tǒng)可以平穩(wěn)切換到高真空泵。然后在高真空條件下進(jìn)行粘合過(guò)程。在抽真空過(guò)程中，必須精確控制旁路中的絕對(duì)壓力，以防止損壞高真空系統(tǒng)。在晶圓鍵合過(guò)程中，必須監(jiān)測(cè)腔室內(nèi)的真空度，以保證所需的結(jié)果。

VSC43MA4型粗真空傳感器用于控制旁路循環(huán)。其陶瓷傳感器以所需的精度測(cè)量絕對(duì)壓力，并且?guī)缀鯚o(wú)需維護(hù)。粘合過(guò)程的過(guò)程壓力通過(guò)帶有皮拉尼/冷陰極組合傳感器的VSM傳感器進(jìn)行監(jiān)控。

緊湊型VSC43壓電傳感器用于測(cè)量粗真空范圍內(nèi)的絕對(duì)壓力。由于其耐用的陶瓷傳感器，它對(duì)污垢和污染幾乎不敏感

VSC43真空計(jì)

耐化學(xué)腐蝕：帶氟橡膠密封的陶瓷傳感器

可靠：高可靠性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性

獨(dú)立：測(cè)量不受氣體類型的影響

快速：響應(yīng)時(shí)間短，可達(dá) 20 ms

堅(jiān)固耐用： 耐臟污

可根據(jù)要求提供控制器：適用于 Thyracont 1 和 2 通道控制器 VD6 / VD12

標(biāo)準(zhǔn)化線性輸出信號(hào) 0-10 V（四線）或 4-20 mA（兩線）

帶皮拉尼/冷陰極傳感器的VSM真空傳感器：

· 長(zhǎng)壽命：通過(guò)皮拉尼自動(dòng)控制冷陰極，冷陰極在低壓下接通可延長(zhǎng)使用壽命，對(duì)空氣涌入不敏感

· 可靠： 出色的點(diǎn)火性能

· 低雜散磁場(chǎng)

· 超壓穩(wěn)定：過(guò)壓穩(wěn)定性高達(dá) 16 bar

· 金屬密封不銹鋼傳感器單元，適用于特高壓應(yīng)用（浸出率<5e-10毫巴升/秒）

· 防護(hù)等級(jí)高達(dá) IP54

· 多種接口：數(shù)字RS485接口加上0-10 V輸出信號(hào)，EtherCAT或PROFINET。

· 繼電器開(kāi)關(guān)點(diǎn)：兩個(gè)獨(dú)立的、無(wú)電勢(shì)的繼電器開(kāi)關(guān)點(diǎn)